SK海力士配备EUV光刻机 ,用于第四代存储器的快速量产

2020-11-27 11:53   来源: 互联网    阅读次数:3944

目前,EUV 光刻机主要部署和安装在台积电和三星的晶圆厂,而现在存储器制造商正准备开始使用它。SK 大力士计划在今年年底前完成 M16 工厂的建设,德国的 CB 表示,M14 老厂也将引进该设备。


EUV 光刻机将用于 SK 大力士的第四代(1anm) 内存,目前的代际划分为 1x、1Y、1Z 和 1a。


EUV 光刻机的参与可以减少多次曝光过程,提供工艺精度,从而缩短生产时间,降低成本,提高性能。

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当然,EUV 光刻机真的很热。唯一的制造商 ASML(荷兰 Asmae) 的产能非常有限,虽然每台售价约 10 亿元,但供应仍然短缺。这一次,新老工厂登上了工厂的顶端,目前尚不清楚有多少 SK 大力神(SK Hercules) 是从 ASML 最后定案的。


此外,三星还将于 2021 年将 16 GB 容量的 LPDDR 5 投入生产内存中,这是较早时发布的,该报告称。


SK 大力士加速了第四代内存的大规模生产:新老工厂都安装在 EUV 光刻机上




责任编辑:萤莹香草钟
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